功能：氮化镓、氮化铝、金属等材料加工，在蓝宝石基底材料上外延生长的氮化镓或者氮化铝材料，对其施加高能紫外激光辐照，使其产生整区域的剥离效果，对其他金属材料可提供切割、打孔操作。
组成：准分子激光器、高精度机械加工平台（含CCD及系统自控软件）、特气系统。
参数：248nmKrF & 192nmArF，激光能量：照射能量4.5mJ/mm2，脉冲重复频率1Hz-50Hz，脉冲宽度25ns；矩形均匀光斑，单边长最大达5mm，面积最大5x5mm2，光斑均匀度（光功率）：最大/最小比 ≤ 1.05。
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